XRF荧光光谱仪器的进展及发展趋势 

　　XRF荧光光谱仪器是一种无损的，应用广泛的光谱分析仪器，台式XRF荧光光谱仪器可分为波长色散和能量色散两种基本类型。

　　自1987年以来，国内相继发表了几篇有关X射线荧光光谱仪的综述，可就目前常用商品X射线荧光光谱仪的进展、性能及发展趋势作一简要评述。

　　近年来，国外厂家纷纷推出新型X射线荧光光谱仪，这些仪器在性能和软件方面有许多实质性的进展，其特点是体积小型化，操作自动化和智能化，分析结果准确度提高，测定元素范围更广等。

　　X射线荧光光谱仪整体性能的提高取决于各部件性能的改进。

　　下面简要介绍近年来商品仪器中一些主要部件的改进。  

　　1.一机多用

　　为了提高工作效率，节省时间，降低分析成本，新一代XRF荧光光谱仪器正朝着一机多用方向发展。如一六仪器自主研发生产的全自动XAD-200光谱分析，不但可对涂覆层成分及厚度进行双向分析，还可应对环保rohs重金属含量检测，以及地质地矿等全元素成分分析。

　　2.小型化、专用化

　　由于现场分析和专用分析的需要，许多厂家推出了小型便携式X射线荧光光谱仪。

　　3.多功能样品室

　　在刑侦、海关、商检、地质和新材料等领域会遇到不同形状和大小的样品，而且在分析检测时不允许破坏样品，这就需要多功能样品室。如一六仪器自主研发的XAU系列荧光光谱仪，其样品室可测不同形状的样品，大如矿石，小如头发丝等的样品，固态液态均可检测。

　　4.高度自动化

　　新一代的X荧光光谱仪普遍采用大规模集成电路和计算机，在丰富的应用软件支持下，谐仪操作、参数选择和数据处理均通过微机和计算机进行;在编好程序的基础上，能在无人操作的情况下自动对试样进行分析，因而可以用于在线、现场和流程分析，XAD-200全自动光谱分析仪，配备可编程自动化移动平台，可通过影响识别自动寻点，无人值守便可完成多点多样品的高效检测。

　　XRF荧光光谱仪器随着分光、探测系统及X光管等的不断改善和电子计算机的应用，而得到迅速的推广和发展，可以预料，对新技术、新方法的探索，还会不断促进XRF荧光光谱仪器的更新发展。